高反镜
熔融石英| 直径 Ø= 20(0-0.1)毫米| t = 3.0(±0.10)毫米 |
通光孔径>95%
光洁度优于III级
平行度<10”
面型优于1/4λ
S1:抛光| 倒角0.2*45°
0°266nmHRp Rp>99.5%
S2:未镀膜